研究課題
基盤研究(C)
変位・速度・加速度を同時検出できる絶対変位センサを提案し,これをボイスコイルモータ付き空圧式除振装置のフィードバックに適用できることを基盤研究(C)20560212で示した.この継続としての本研究では,変位センサの検出感度を数値で捉えるとともに,感度向上のために検定コイルの巻数を変更する試作を行った.この感度向上がフィードバック応用においても有意に機能することを示した.併せて,高周波数域に出現する機械共振の振動モードを特定し,これをチューニングマスダンパで抑制して周波数応答をクリーンにできることを振動子単体とともに,フィードバック応用においても示した.
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