| 研究概要 |
本年度は下記の3ステップを実施した．
1. 3次元表面粗さ用ローパスフィルタの計算手法を確立した．当初の計画は，高速M推定を用いた1次元ローパスフィルタを互いに直交する2方向へ順次適用したフィルタ結果Aおよび，x方向，y方向の順序を入れ替えて順次適用したフィルタ結果Bの不一致が生じる計測点に，部分的な高速M推定を用いた2次元フィルタを適用する2段階手法であった．最終的に高速M推定を用いた2次元フィルタの計算手順を見直し，全計測データに2次元フィルタを直接適用する1段階手法に簡略化し，当初の計画の2段階手法よりも精度・処理速度ともに優れた結果を得た．
2. 3次元表面粗さ用ローパスフィルタの4大特性を検証し，(1) 外れ値のない計測データに対しガウシアンフィルタと結果が一致すること，(2) 高速に計算できること，(3) 外れ値のある計測データに対しロバストであること，(4) 方向特性がないこと，を確かめた．
3. 従来の代表的な表面粗さ用ローパスフィルタであるスプラインフィルタ，S.Brinkmannのロバストガウシアンフィルタの2次元フィルタで実験し，スプラインフィルタでは4大特性の内，(1)，(3)，(4)が満足できないこと，S.Brinkmannのロバストガウシアンフィルタでは(1)，(2)，(4)が満足できないことを確かめた．
これらの研究成果の内，1, 2のステップを2014年春精密工学会大会で口頭発表した．3については，2014年秋精密工学会大会で口頭発表予定である．また，1，2，3のステップを併せて，2014年中に論文投稿（精密工学会誌）予定である．また，研究協力者である3次元表面粗さ測定機メーカーである株式会社小坂研究所と2014年3月より実用化のための共同研究をスタートした．1, 2年のうちに本3次元表面粗さ用ローパスフィルタが実用化される見込みである
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