インチワーム型６自由度位置決め装置の開発

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23560302
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 愛知工業大学
• 研究代表者: 鳥井 昭宏 愛知工業大学, 工学部, 教授 (70267889)
• 研究分担者: 道木 加絵 愛知工業大学, 工学部, 准教授 (00350942)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• キーワード: 精密位置決め / 圧電アクチュエータ / 多自由度アクチュエータ / インチワーム

研究概要

インチワームとは小さな移動を繰り返すことにより，無限の範囲を移動できる機構である。圧電アクチュエータを用いたインチワームは１ミクロン程度の微小な移動が可能である。また，立体形状を加工するためには直進３方向と回転（ねじり）３方向の合計６自由度が必要になる。そこで，６個の圧電アクチュエータを組み合わせ，精密な移動が可能な位置決め装置を開発した。様々な方向の移動が可能であり，複雑な形状の加工に利用することができる。

研究成果

• [雑誌論文] インチワーム型多自由度ステージ (2013)
  • 著者名/発表者名: 鳥井昭宏,山田智弘,上谷亮介,植田明照,道木加絵
  • 雑誌名: 電気学会論文誌C 巻: 133巻 ページ: 849-855
  • DOI: 10.1541/ieejeiss.133.849
  • 査読あり
• [雑誌論文] 鉛直振動による浮上を用いたインチワーム (2012)
  • 著者名/発表者名: 鳥井昭宏,板津佑樹,西尾光弘,植田明照,道木加絵
  • 雑誌名: 電気学会論文誌C 巻: 132巻 ページ: 1919-1924
  • DOI: 10.1541/ieejeiss.132.1919
  • 査読あり
• [学会発表] 自走式5自由度プラットフォームの回転動作と負荷特性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 上谷亮介,鳥井昭宏,道木加絵
  • 学会等名: 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
  • 発表場所: 浜松市
  • 年月日: 2013-09-24
• [学会発表] 浮上機構の浮上量推定用周波数の決定法 (2013)
  • 著者名/発表者名: 曽根勝利,鳥井昭宏,道木加絵
  • 学会等名: 2013年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 吹田市
  • 年月日: 2013-09-12
• [学会発表] Displacement of a 6-DOF inchworm-based parallel kinematic stage (2013)
  • 著者名/発表者名: A. Torii, R. Kamiya, K. Doki, A. Ueda
  • 学会等名: 13^<th> international conference of the European society for precision engineering and nanotechnology
  • 発表場所: Berlin,Germany
  • 年月日: 2013-05-27
• [学会発表] 5自由度インチワームの球面モータへの応用 (2013)
  • 著者名/発表者名: 上谷亮介,鳥井昭宏,道木加絵,植田明照
  • 学会等名: 第25回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム
  • 発表場所: 神奈川県箱根町
  • 年月日: 2013-05-15
• [学会発表] 圧電素子を用いた浮上機構の浮上量推定 (2013)
  • 著者名/発表者名: 曽根勝利,鳥井昭宏,道木加絵,植田明照
  • 学会等名: 第25回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム
  • 発表場所: 神奈川県箱根町
  • 年月日: 2013-05-15