自動車のシリンダブロックなど鋳物肌の面(測定面)にレーザ光を照射して小径深穴の直径と垂直度を計測するシステムの開発を行った.測定面に照射されてできた散乱光をセンサプローブ内のプリズムとイメージコンジット(棒状のロッドレンズ)を経て外部に設置したCMOSカメラで受光する実験から,光量が低いスポット散乱光を画像処理により円検出して位置情報をとらえることができることを確かめた.これにより測定面までの距離が計測可能となる. 赤外半導体レーザ光を3本の光ファイバに導き,それぞれプローブ先端部のボールレンズによって集光し,同一円周上から外部に放射状に3本のレーザ光を計測対象物の壁面に照射する外径5.0mmのプローブの試作を行った.プローブ先端の投光側には直径0.2mmのピンホールを設け,外部に照射されるレーザ光の出力は安全面から0.5mW未満である.プローブと計測面までの距離に対するカメラ画像上のスポット光の移動距離の関係を実験的に調べ,3本のレーザごとに校正曲線を得た.しかし,穴の直径(曲率)によって校正曲線がわずかに異なることが明らかになった. 試作したプローブを用いて3個のスポット散乱光の距離情報から穴の直径を算出する計算式を導き,小径深穴の直径計測を行った.その結果,プローブが穴の中心から少しずれても直径の計測値はほぼ同じとなることが確かめられた.これは本方式が散乱光を用いていることによる長所である.カメラ映像上のスポット光を円検出する際の2値化において輝度からしきい値を決定している.しかし,プローブによる内径の計測値については若干小さくなる傾向が得られたため,曲率による補正が必要である.
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