|
半導体素子と水素との相互作用によって、素子特性が変化することは古くから知られているが、その相互作用機構については謎が多い。「金属－半導体界面において水素がダイポールを形成する結果、デバイスの電気的特性が変化する」というモデルが提案されているが、このモデルでは説明できない実験結果も、報告されており、水素センサー等のアプリケーション特性を向上させるためには、この相互作用機構を解明することが必須である。今回の研究によって、デバイスの金属－半導体界面に原子状の水素が存在し、界面に存在する絶縁膜と何らかの相互作用をすることでバンドダイヤグラムに変化が生じる結果、デバイス特性が変化することを示した。
|
