| 今後の研究の推進方策 |
(1)温度制御型チューナブルフィルタ■(1)光学モニタ系精度向上とフィルタ成膜実験：不要な反射損失の低減を目的として、フィルタ分光モニタの新規導入および成膜制御VBプログラムの改良（半自動化）を行い、成膜技術の向上を図る。■(2)局部薄型化による消費電力低減：消費電力を0.2W以下にするため、ヒータ膜材料およびヒータ膜形状を変更し、フィルタの光透過部を直接的に加熱することを試みる。■(3)透明ヒータ膜最適化の検討：不要な吸収損失の低減を目的として、pc-Si:B薄膜のボロン含有量と光学特性の関係を実験的に検討する。■なお当初H24年度に計画していた「多キャビティ化」の一部をH25年度に延期する。(2)電圧制御型チューナブルフィルタ■(1)作製技術の検討：EO薄膜について、作製条件の実験的検討（基板,Seed層,加熱条件）と特性評価実験（結晶性,吸収特性,光学特性）を行う。誘電体ミラー材料,電極材料について、作製条件の実験的検討（結晶性への影響,耐熱性,光学特性）とフォトリソによるパターニングを行う。■(2)プロトタイプの試作：１キャビティ構造のプロトタイプを試作する。作製しやすさを優先し、光学特性の設計仕様はゆるめに設定する。チューナブルフィルタとしての光学特性と応答特性を評価する。
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