生産性と光学特性に秀でたチューナブル波長選択フィルタチップの開発

2014 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23560385
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 依田 秀彦 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30312862)
• 研究期間 (年度): 2011-04-28 – 2015-03-31
• キーワード: 光波長フィルタ / 光デバイス / 透明ヒータ膜

研究成果の概要

次世代光アクセス網の高速大容量技術方式WDM-PONにおけるキーデバイス，チューナブル波長選択フィルタの開発を行った．光学薄膜を利用した２種類のフィルタ（温度制御型TO-BPF、電圧制御型EO-BPF）の作製技術とデバイス性能向上を進め，得られた成果は以下の9項目：①a-Si:D/SiOx TO-BPFによる生産性改善　②TO-BPFの耐熱性改善　③NIR波長域用ITiO透明ヒータ膜の実証　④TO-BPFの小型化/薄型化による省電力化　⑤省スペースTO-BPFモジュール試作；　⑥EO-BPF用PLZT用シード層兼透明電極の開発　⑦EO-BPF構成要素の検討　⑨1キャビティ型EO-BPFの試作．

自由記述の分野

光エレクトロニクス