研究課題
基盤研究(C)
量子ドットコア層によるMOVPE選択成長アレイ導波路を用いた広帯域光デバイス開発に関する研究を行った。広帯域動作を得るために、アレイ導波路および多層構造の発光波長を独立に変化させる構造をダブルキャップ法とバッファ層の歪制御によって行った。層構造を変えた4種類の3層InAs量子ドットアレイ導波路型LED構造を試作し、その発光スペクトルを比較検討した。発光スペクトルの広帯域化のためには3層の発光波長を適切に制御し、同程度の発光強度を得ることが必要であることを示し、発光半値幅500nm以上、フラットトップスペクトルを持つLEDの開発に成功した。
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