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2013 年度 研究成果報告書

UMS技術によるガラス材料評価法の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 23560494
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 計測工学
研究機関東北大学

研究代表者

荒川 元孝  東北大学, 医工学研究科, 特任助教 (00333865)

研究分担者 櫛引 淳一  東北大学, 大学院工学研究科, 名誉教授 (50108578)
研究期間 (年度) 2011 – 2013
キーワード超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 超精密超音波計測 / 機能性ガラス / 石英ガラス
研究概要

ガラス材料は、添加物を加えることにより屈折率や膨張率などの物理特性を大きく変えることが可能である。所望のガラスを作製するためには、作製したガラスを評価するための計測技術が重要である。本研究では、合成石英ガラスに対して、超音波マイクロスペクトロスコピー技術により、音響特性(漏洩弾性表面波速度、縦波音速、密度)を測定し、音響特性、仮想温度、OH濃度、Cl濃度の間の関係を求めた。また、フッ素ドープ石英ガラスに対して、音響特性、フッ素濃度、仮想温度の間の関係を求めた。

  • 研究成果

    (26件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (23件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Homogeneity improvement of TiO_2-SiO_2 glass synthesized by the soot method and its evaluation using the ultrasonic measurement system2013

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Kawagishi, Junko Konishi, Masaki Takata, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, and Junichi Kushibiki
    • 雑誌名

      Proc. SPIE

      巻: Vol. 8679 ページ: 86791N-1–86791N-7

    • DOI

      10.1117/12.2011655

  • [学会発表] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる強化ガラスの表面応力評価法の検討2014

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,櫛引淳一,大橋雄二,川口邦子,竹田宣生
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2014-03-20
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による強化ガラスの表面応力評価法の検討2014

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,櫛引淳一,大橋雄二,川口邦子,竹田宣生
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • 発表場所
      宮城
    • 年月日
      2014-01-30
  • [学会発表] 強化ガラスの超音波マイクロスペクトロスコピー2013

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,川口邦子,竹田宣生
    • 学会等名
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2013-11-20
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成粉溶融石英ガラスの均質性評価—OH濃度と仮想温度の関係—2013

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,大橋雄二,小林恵理子,櫛引淳一,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2013-09-19
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価法2013

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,山田修史
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] Homogeneity improvement of TiO_2-SiO_2 glass synthesized by the soot method and its evaluation using the ultrasonic measurement system2013

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Kawagishi, Junko Konishi, Masaki Takata, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, and Junichi Kushibiki
    • 学会等名
      2013 Advanced Lithography
    • 発表場所
      アメリカ・サンノゼコンベンションセンター
    • 年月日
      2013-02-27
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価2012

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • 学会等名
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2012-11-14
  • [学会発表] TiO_2-SiO_2 ultra low expansion glasses for extreme ultraviolet lithography evaluated by ultrasonic zero CTE temperature measurement system2012

    • 著者名/発表者名
      Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, Toshio Sannnomiya, Kazuo Ishikawa, Junichi Kushibiki, and Naofumi Yamada
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      ドイツ・ドレスデン
    • 年月日
      2012-10-08
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法—音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響—2012

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,櫛引淳一,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      超音波研究会
    • 発表場所
      秋田
    • 年月日
      2012-09-24
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価2012

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,櫛引淳一,山田修史
    • 学会等名
      電気学会電子・情報・システム部門大会
    • 発表場所
      青森
    • 年月日
      2012-09-05
  • [学会発表] Study on evaluation of F-doped silica glass by the ultrasonic microspectroscopy technology2012

    • 著者名/発表者名
      八島一哉,荒川元孝,丸山由子,櫛引淳一
    • 学会等名
      電気関係学会東北支部連合大会
    • 発表場所
      秋田
    • 年月日
      2012-08-31
  • [学会発表] Development of homogeneous TiO_2-SiO_2 ultra low expansion glass for optical cavities for frequency standards2012

    • 著者名/発表者名
      Junichi Kushibiki, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, and Naofumi Yamada
    • 学会等名
      2012 IEEE International Frequency Control Symposium
    • 発表場所
      アメリカ・ボルチモア
    • 年月日
      2012-05-22
  • [学会発表] 超音波ゼロCTE温度評価システムによるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの評価—仮想温度依存性—2012

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,山田修史
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-18
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるVAD法SiO_<2 >ガラスインゴットの均質性評価2012

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価2012

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるVAD法SiO_2ガラスインゴットの均質性評価2012

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      日本音響学会春季研究発表会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2012-03-13
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるSiO_2ガラスインゴットの光学特性評価2012

    • 著者名/発表者名
      荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,櫛引淳一,森山賢二,堀越秀春
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2012-01-31
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの評価—仮想温度依存性—2012

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,山田修史
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2012-01-31
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価2011

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      第52回ガラス及びフォトニクス材料討論会
    • 発表場所
      兵庫
    • 年月日
      2011-11-25
  • [学会発表] 超音波ゼロCTE温度計測システムにより評価したEUVLシステム用TiO_2-SiO_2超低膨張ガラス2011

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子
    • 学会等名
      超音波研究会
    • 発表場所
      静岡
    • 年月日
      2011-11-24
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価2011

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2011-11-10
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価2011

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      超音波研究会
    • 発表場所
      宮城
    • 年月日
      2011-09-27
  • [学会発表] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの仮想温度分布評価2011

    • 著者名/発表者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,丸山由子,貝賀俊介,堀越秀春,森山賢二
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形
    • 年月日
      2011-08-31
  • [備考]

    • URL

      http://www.ecei.tohoku.ac.jp/kushi/

  • [産業財産権] 強化ガラスの表面特性の測定方法2014

    • 発明者名
      櫛引淳一,荒川元孝,大橋雄二,川口 邦子,竹田宣生
    • 権利者名
      櫛引淳一,国立大学法人東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-054913
    • 出願年月日
      2014-03-18
    • 外国

URL: 

公開日: 2015-07-16  

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