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近年、透過電子顕微鏡を使用し、金属酸化物に担持された金ナノ粒子の触媒の反応機構や生体試料等を各雰囲気化で観察する試みがなされている。この方法は、試料ホルダーに環境セルと呼ばれる容器を取り付けで行われる。電子線の発生は、高真空で行われるため、電子顕微鏡鏡筒内と環境セルの間には、電子線を透過し、かつ雰囲気圧力に耐えうる隔膜が必要となる。本研究では、電子散乱が少なく、化学的安定で機械的強度が高いアモルファスの窒素炭化ホウ素や窒素炭化ケイ素を環境セル用隔膜として使用することを試み、パルスプラズマ化学気相成長法により作製した．その結果，耐圧性に富み，電子線に対して透明なアモルファス膜の開発に成功した．
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