研究概要 |
微小流路型反応器を用いて、めっき液の切り替え前後での電流密度変化から、有効表面被覆率(θEFF)とPEG吸着速度定数(ka)を求めた。Cl-濃度の増加に伴い、kaはわずかに上昇したが、定常状態での有効表面被覆率(θEFF,SS)は0.5で一定であった。Br-/PEG系においてはCl-/PEG系に比べてθEFF,SSは増加したが、kaは減少した。極短時間での銅めっきで抑制効果の発現にはCl-を、比較的長時間での抑制にはBr-が有効である。水晶振動マイクロバランス法の結果から、PEG濃度が大きいほどPEG吸着重量は増加した。重量変化から求めた被覆率と、電流密度変化から求めた被覆率は同等であった。
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