2012 年度研究成果報告書

酸化物ナノシート 1 枚の新規誘電特性の探索

研究課題

研究課題/領域番号	23651097
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	ナノ構造科学
研究機関	九州大学
研究代表者	伊田進太郎九州大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (70404324)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	二次元ナノ結晶 / 誘電特性
研究概要	本研究では酸化物ナノシート1 枚の誘電率評価を試みた。その結果、ナノシート1枚の比誘電率は出発の層状体よりも高い可能性があるデータは得られた。しかしながら、酸化物ナノシート1枚を誘電体層とする容量素子を再現性よく作製することや評価することが難しく、メカニズムを考察するために必要な十分なデータを究期間内で得ることはできなかった。明らかになった課題としては、プローブ針と上部電極との高い接触抵抗を低減させる必要があることが示された。