| 研究課題/領域番号 |
23651103
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノ材料・ナノバイオサイエンス
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
末元 徹 東京大学, 物性研究所, 教授 (50134052)
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| 研究分担者 |
長谷川 登 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究員 (50360409)
馬場 基芳 東京大学, 物性研究所, 助教 (60159077)
南 康夫 横浜国立大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究教員 (60578368)
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| 連携研究者 |
錦野 将元 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究員 (70370450)
富田 卓朗 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助教 (90359547)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| キーワード | ナノ計測 / 軟 X 線レーザー / 顕微技術 / 時間分解 |
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| 研究概要 |
波長13.9nm、パルス幅7psの軟X線レーザーを光源とし、フレネルゾーンプレートを結像素子として用いた斜入射型軟X線顕微鏡を構築した。Pt膜上に作成した溝構造をシングルショットで鮮明に捉え、視野の中央部で、縦方向200nm、横方向1000nmの分解能を確認した。また、100μm×100μmの視野範囲で、ほとんど解像度の劣化がないことが分かり、この顕微鏡が実用に耐えうることを実証することができた。
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