電子放出増強による表面プラズモンのナノ分解能・その場観察

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23651121
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 独立行政法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 宮崎 英樹 独立行政法人物質・材料研究機構, 先端フォトニクス材料ユニット, グループリーダー (10262114)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: ナノ計測 / 電子顕微鏡 / 光物性 / 表面・界面物性 / 可視化

研究概要

表面プラズモンが持つと期待される2次電子放出増強効果を利用して、光照射により金属表面に励起された表面プラズモンの強度分布を、電子ビーム走査により、ナノメートル分解能で観察する新原理顕微法の開発に挑んだ。走査電子顕微鏡(SEM)試料室内部に、外部から導入したレーザ光によりプリズム上に成膜した金属薄膜表面上に表面プラズモンを励起できる光学系を構築した。レーザ光のON/OFFに対応してSEM画像の輝度が変化することを明らかにした。