| 研究課題/領域番号 |
23651139
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 香川大学 |
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研究代表者 |
鈴木 孝明 香川大学, 工学部, 准教授 (10378797)
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| 連携研究者 |
大平 文和 香川大学, 工学部, 准教授 (80325315)
下川 房男 香川大学, 工学部, 准教授 (90580598)
高尾 英邦 香川大学, 工学部, 准教授 (40314091)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| キーワード | マイクロファブリケーション / 単結晶シリコン / ドライエッチング / 結晶異方性 / カンチレバー |
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| 研究概要 |
本論文では、結晶異方性プラズマエッチングを用いた複雑3次元シリコン構造の提案として、カンチレバーと微細針を作製した。提案する方法は、従来法に比べて少ない工数・装置数で簡便に製作でき、カンチレバー製作においては、従来法とほぼ同一の歩留りで、製作時間を5分の1に短縮でき、提案する加工法の有用性を示した。また、単一のドライエッチング装置での複雑3次元シリコン構造製作の可能性を示した。今後、単一装置での新たな3次元シリコン構造の提案を行うと共に、結晶異方性プラズマエッチングのメカニズム解明を進め、より制御性の高い加工技術へと展開をする。
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