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2012 年度 実績報告書

シリコン基板上架橋窒化物半導体ナノワイヤLEDの開発

研究課題

研究課題/領域番号 23651146
研究機関名古屋大学

研究代表者

本田 善央  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (60362274)

研究分担者 山口 雅史  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (20273261)
キーワードナノワイヤ / InGaN / MBE / フォトルミネッセンス / STEM / 双晶
研究概要

本年度の予定では,デバイス応用を見据えた場合にGaNナノワイヤあるいはInGaNナノワイヤへの不純物ドーピングを行う必要があるため,電気伝導特性評価を行い,成長条件とキャリア濃度の関係や,不純物ドーピングによる結晶構造への欠陥等の影響について調べる予定であった。しかしながら,Inを取り込んだ系では,GaNのみのナノワイヤでは見られなかった,双晶欠陥が多く存在していることが分かり,これらが発光効率の低下を招く可能性がある。そのため,計画を変更し,InGaNナノワイヤをSi基板に成長し,そのInの取り込みと双晶の発生について検討を行った。
RF-MBE 法によりバッファー層を介さずに,InとGaの気相比比および成長温度を変化させてInGaN ナノワイヤの成長を行った。各試料においてフォトルミネッセンス:PL測定および走査型透過電子顕微鏡(STEM)測定を行った。その結果,In組成比が高い試料では,双晶の発生確率が高くなっており,それに伴ってPL発光強度も弱くなっていることがわかった。これは,双晶面でキャリアがナノワイヤ側面に拡散し,ナノワイヤ側面にて表面欠陥に取り込まれているものと考えられる。
従って,高In組成を有するInGaNナノワイヤのデバイス応用には,双晶抑制に関する検討を行わなければならないことを示唆している。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2013 2012

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] Stacking faults and luminescence property of In- GaN nanowires2013

    • 著者名/発表者名
      T. Tabata, J.H. Paek, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] GaN nanowires grown on a graphite substrate by RF-MBE2013

    • 著者名/発表者名
      S. Nakagawa, T. Tabata, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 1-4

    • 査読あり
  • [学会発表] RF-MBE法による各種基板上GaN系ナノワイヤ成長2013

    • 著者名/発表者名
      水谷駿介,田畑拓也,中川慎太,山口雅史,天野浩,井村将隆,中山佳子,竹口雅樹
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春期学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      20130327-20130330
  • [学会発表] Stacking faults and luminescence property of In- GaN nanowires2012

    • 著者名/発表者名
      T. Tabata, J.H. Paek, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2012(IWN2012)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20121014-20121019
  • [学会発表] GaN nanowires grown on a graphite substrate by RF-MBE2012

    • 著者名/発表者名
      S. Nakagawa, T. Tabata, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2012(IWN2012)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20121014-20121019
  • [学会発表] RF-MBE法によるグラファイト基板上GaNナノワイヤの成長2012

    • 著者名/発表者名
      中川慎太,田畑拓也,本田善央,山口雅史,天野 浩
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛
    • 年月日
      20120911-20120914
  • [学会発表] RF-MBE法によるガラス基板上InGaNナノ構造の作製2012

    • 著者名/発表者名
      中川慎太, 田畑拓也, 本田善央, 山口雅史, 天野浩, 渕真悟, 竹田美和
    • 学会等名
      日本結晶成長学会ナノ構造・エピタキシャル成長分科会第4回 窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20120427-20120428

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公開日: 2014-07-24  

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