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2012 年度 研究成果報告書

シリコン基板上架橋窒化物半導体ナノワイヤLEDの開発

研究課題

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研究課題/領域番号 23651146
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関名古屋大学

研究代表者

本田 善央  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (60362274)

研究分担者 山口 雅史  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20273261)
連携研究者 天野 浩  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60202694)
研究期間 (年度) 2011 – 2012
キーワードMBE / 結晶成長 / 半導体超微細化 / 半導体物性 / 量子細線
研究概要

トレンチ構造を有する Si 基板のトレンチ側壁に垂直に,RF-MBE 法を用いることで,GaN ナノワイヤを成長することに成功した。また,デバイスに応用した際に分極電場やバッファー層等による悪影響を少なくするために,バッファー層を介さずに InGaN ナノワイヤを直接 Si 基板上に成長することに成功した。ただし,InGaN ナノワイヤの場合 GaN と比較すると光学特性に影響が出ると予測される双晶が発生することがわかり,双晶の発生と光学特性との関係を調べた。最後に,今後の応用デバイスのためにグラフェン上への GaN ナノワイヤ成長の検討を行い,高配向性グラフェン基板上にも GaN ナノワイヤの成長を確認した。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (10件)

  • [雑誌論文] Stacking 10 nm図 4:STEM 観察による InGaN ナノワイヤにおける双晶図 5 :InGaN ナノワイヤにおける双晶密度と積分 PL 強度の関係1011021034 1055 1056 1057 1058 105Integrated PL intensity (a.u.)Density of stacking faults (/cm)図 6:HOPG 基板上 GaN ナノワイヤ1μm faults and luminescence property of In- GaN nanowires2013

    • 著者名/発表者名
      T. Tabata, J.H. Paek, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

    • 査読あり
  • [雑誌論文] GaN nanowires grown on a graphite substrate by RF-MBE2013

    • 著者名/発表者名
      S. Nakagawa, T. Tabata, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of InGaN nanowires on a (111)Si substrate by RF-MBE2012

    • 著者名/発表者名
      T. Tabata, J.H. Paek, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 雑誌名

      phys. stat. sol

      巻: 9 ページ: 646-649

    • 査読あり
  • [学会発表] Stacking faults and luminescence property of In- GaN nanowires2012

    • 著者名/発表者名
      T. Tabata, J.H. Paek, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2012
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2012-10-19
  • [学会発表] GaN nanowires grown on a graphite substrate by RF-MBE2012

    • 著者名/発表者名
      S. Nakagawa, T. Tabata, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2012
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2012-10-19
  • [学会発表] RF-MBE 法によるグラファイト基板上 GaN ナノワイヤの成長2012

    • 著者名/発表者名
      中川慎太,田畑拓也,本田善央,山口雅史,天野 浩
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛
    • 年月日
      2012-09-14
  • [学会発表] RF-MBE 法によるガラス基板上 InGaN ナノ構造の作製2012

    • 著者名/発表者名
      中川慎太,田畑拓也,本田善央,山口雅史, 天野 浩, 渕真悟 , 竹田美和
    • 学会等名
      第4回 窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-04-28
  • [学会発表] RF-MBE 法による各種基板上 GaN系ナノワイヤ成長2012

    • 著者名/発表者名
      水谷駿介,田畑拓也,中川慎太,山口雅史,天野 浩,井村将隆,中山佳子,竹口雅樹
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春期学術講演会
    • 発表場所
      神奈 川
    • 年月日
      2012-03-30
  • [学会発表] Si 基板上 III-V族化合物半導体ナノワイヤの成長と応用2012

    • 著者名/発表者名
      山口雅史,白 知鉉,田畑拓也,中川慎太, 本田善央, 天野 浩
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-18
  • [学会発表] Si 基板上 InGaN ナノワイヤの積層欠陥と発光特性2012

    • 著者名/発表者名
      田畑拓也,白 知鉉,本田善央,山口雅史,天野 浩
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-18
  • [学会発表] MBE 法による Si 基板上化合物半導体ナノワイヤ成長と評価2011

    • 著者名/発表者名
      山口雅史,白 知鉉,田畑拓也,本田善央,天野 浩
    • 学会等名
      第15回名古屋大学 VBL シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2011-11-08
  • [学会発表] RF-MBE 法による(111)Si 基板上への InGaN ナノワイヤの成長 II2011

    • 著者名/発表者名
      田畑拓也,白 知鉉,本田善央,山口雅史,天野 浩
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形
    • 年月日
      2011-09-02
  • [学会発表] Growth of InGaN nanowires on a (111)Si substrate by RF-MBE2011

    • 著者名/発表者名
      T. Tabata, J.H. Paek, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano
    • 学会等名
      9th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Glasgow (U.K.)
    • 年月日
      2011-07-14

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公開日: 2014-09-25  

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