2011 年度研究成果報告書

光ゲーティングナノポアの開発

研究課題

研究課題/領域番号	23651147
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	大阪大学
研究代表者	谷口正輝大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (40362628)
研究期間 (年度)	2011
キーワード	ゲーティングナノポア / 光導波路 / 1粒子検出 / ナノギャップ / 量子ドット
研究概要	酸化チタンの光導波路は、高い屈折率と可視光に対する高い透明性を有するため、微細化光導波路の候補の1つと期待される。しかし、酸化チタン光導波路の微細加工プロセスが開発されていないため、微細な酸化チタン光導波路の光学特性は評価されていない。本研究では、微細な酸化チタン光導波路の作製プロセスを開発し、光導波路の光学特性を評価した。作製した微細な酸化チタン光導波路は、直線形とY字分岐形の導波路に沿って赤色レーザー光(632nm)を伝搬した。直線形光導波路の伝搬損失は、9. 7 dB/ cmであった。