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2012 年度 実績報告書

ビルドアップ法による大面積高機能ピクセル検出器の製作手法の確立

研究課題

研究課題/領域番号 23654084
研究機関神戸大学

研究代表者

身内 賢太朗  神戸大学, 理学(系)研究科(研究院), 准教授 (80362440)

キーワード放射線検出器 / ガス検出器 / 半導体実装 / ビルドアップ法
研究概要

高集積化によって小型化の進む放射線検出器用集積回路によって大型のガス検出器を読み出すため、低温焼結セラミック基板、スクリーン印刷、ディスペンサーによる描画という3つの手法によるピクセル型読み出し電極製作の手法確立を目指した。セラミック基板に関しては平面度についてバンプボンディングに対する要請をクリア、スクリーン印刷では細線描画という成果により、現状の問題点をクリアした。ディスンペンサーを用いたビルドアップ法では、最適な使用材料の選択、ピクセル形状電極の形成、およびストリップ状電極によるガス検出器からの信号読み出しを行い、ビルドアップ法によるピクセル電極製作手法の原理実証に至った。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2012

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] NEWAGE2012

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Miuchi
    • 雑誌名

      Proceedings of "CYGNUS 2011 : 3rd Workshop on directional detection of

      巻: 53 ページ: 33-41

    • DOI

      10.1051/eas/0936034

  • [学会発表] ビルドアップ法によるMPGDの製作2012

    • 著者名/発表者名
      身内賢太朗
    • 学会等名
      第9回MPGD研究会
    • 発表場所
      長崎総合科学大学
    • 年月日
      2012-12-07

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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