ビルドアップ法による大面積高機能ピクセル検出器の製作手法の確立

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23654084
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 素粒子・原子核・宇宙線・宇宙物理
• 研究機関: 神戸大学
• 研究代表者: 身内 賢太朗 神戸大学, 大学院・理学研究科, 准教授 (80362440)
• 連携研究者: 内田 智久 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 助教 (40435615) ; 田中 秀治 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 准教授 (80311124) ; 田中 真伸 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 准教授 (00222117)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: 放射線検出器 / ガス検出器 / 半導体実装 / ビルドアップ法

研究概要

高集積化によって小型化の進む放射線検出器用集積回路によって大型のガス検出器を読み出すため、低温焼結セラミック基板、スクリーン印刷、ディスペンサーによる描画という3つの手法によるピクセル型読み出し電極製作の手法確立を目指した。セラミック基板に関しては平面度についてバンプボンディングに対する要請をクリア、スクリーン印刷では細線描画という成果により、現状の問題点をクリアした。ディスンペンサーを用いたビルドアップ法では、最適な使用材料の選択、ピクセル形状電極の形成、およびストリップ状電極によるガス検出器からの信号読み出しを行い、ビルドアップ法によるピクセル電極製作手法の原理実証に至った。

研究成果

• [雑誌論文] "NEWAGE" Proceedings of "CYGNUS 2011 : 3rd Workshop on directional detection of Dark Matter" (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Miuchi, K. Nakamura, A. Takada, S. Iwaki, H. Kubo, T. Mizumoto, H. Nishimura, J. Parker, T. Sawano, T. Tanimori, H. Sekiya, A. Takeda, T.Fusayasu, A. Sugiyama and M. Tanaka
  • 雑誌名: EAS publication Series 巻: 53巻 ページ: 33-41
• [学会発表] ビルドアップ法によるMPGDの製作 (2012)
  • 著者名/発表者名: 身内賢太朗
  • 学会等名: 第9回MPGD研究会
  • 発表場所: 長崎総合科学大学
  • 年月日: 2012-12-07
• [備考]
  • URL: http://ppwww.phys.sci.kobe-u.ac.jp/~miuchi