研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究ではメタマテリアルを用いたカシミールの人工制御に向け、カンチレバーの微小変位計測技術の開発ならびにカスタムカンチレバーの作製に向けたプロセス開発を行った。Fabry-Perot干渉計を用いた計測システムを開発し、リアルタイムで10 pmオーダーの変位検出感度を実現した。また、両面マスクアライナーを自作し、SOI基板を用いたカンチレバー作製プロセスを確立した。
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