2014 年度研究成果報告書

連続供給固体希ガスターゲットによるレーザープラズマ真空紫外光源の研究

研究課題

研究課題/領域番号	23654204
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	プラズマ科学
研究機関	兵庫県立大学
研究代表者	天野壮兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (50271200)
研究期間 (年度)	2011-04-28 – 2015-03-31
キーワード	レーザープラズマ光源 / 真空紫外光 / 固体希ガス / 極低温
研究成果の概要	真空紫外領域で新型の小型・高出力光源として連続発生レーザープラズマ光源を開発した。プラズマターゲット材として冷却固化した希ガスを選び、これを連続供給する装置の開発に成功した。これによって供給されるキセノン、クリプトン、アルゴンの固体ターゲットで、Nd:YAG Qスイッチレーザーの10Hzまでの繰り返しに対応した安定なプラズマパルス連続発生に成功した。その真空紫外発光スペクトルが明らかにされ、連続的なブロード発光に固有イオンのラインスペクトルが乗っている形状であった。
自由記述の分野	レーザー理工学