2012 年度研究成果報告書

紫外光電子放射を利用する大気下仕事関数イメージング装置の開発

研究課題

研究課題/領域番号	23655075
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	分析化学
研究機関	大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
研究代表者	文珠四郎秀昭大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 放射線科学センター, 教授 (80191071)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	表面分析 / 仕事関数 / 光電子 / イメージング
研究概要	紫外線照射による光電子放出現象を利用した表面分析システムを設計試作した。大気下で試料表面に対物レンズで集光した紫外線を照射し、微小部分からの光電子を電流として検出、試料を微動ステージで移動させることにより、試料表面の各測定点からの光電子放出量をマッピングし、これを2次元イメージとして取得することに成功した。本方法は、実試料に対し大気下で行える簡便な表面分析法として発展することが期待できる。