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ゼオライトが持つミクロ細孔を利用して、新規なパターンドメディアを創製することを終局目的とする本研究では、その終局目的の達成には至らなかったが、以下に示す幾つかの知見を得た。MFI型ゼオライトの巨大結晶を合成し、そのミクロ細孔内に存在する構造指向材の除去挙動は、処理雰囲気の酸素分圧に依存し、試料強度の低下を抑制しながら構造指向材除去を可能とするプロセスを見出した。また、バルク状原料を用いて多孔質基板上に製膜された膜は非晶質で、XRDで観測されたピークは膜上に堆積した粒子によることが明らかになった。
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