2012 年度研究成果報告書

超高圧振動ナノ接点の粘塑性流動による金属ナノペインティング法の開拓

研究課題

研究課題/領域番号	23656077
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	機械材料・材料力学
研究機関	秋田大学
研究代表者	村岡幹夫秋田大学, 大学院・工学資源学研究科, 教授 (50190872)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	ナノ加工 / ナノ接点 / 超高圧振動 / 金属ペイント / パターニング
研究概要	金属ナノペインティングは、延性金属を被覆した探針を有する原子間力顕微鏡カンチレバーの接触共振を利用して、基板と探針の接触部における超高圧振動ナノ接点の粘塑性流動により、基板表面にパターニングする独自の提案技術である。これを実現するためナノペインティング用集中質量型カンチレバーを作製して、その2 次振動モードの利用により、金ナノドットのパターニングに成功した。本技術によれば、基板上の意図した箇所に簡便に金属パターニングが可能となる。