マイクロニードルアレイ工具を用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23656103
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 豊橋技術科学大学
• 研究代表者: 柴田 隆行 豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10235575)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: ナノ・マイクロ加工 / マイクロ穴加工 / 熱インプリント / マイクロニードルアレイ / MEMS

研究概要

中空構造を有するマイクロニードルアレイ工具を用いた熱インプリント応用技術によって,様々な樹脂フィルムに最小寸法10μm 程度の高品位・高精度なスルーホール(貫通穴)を極めて高能率に加工する新規なマイクロ穴加工技術の開発を行った.本提案技術によって,円形断面に限らず,任意の幾何学形状をもった貫通穴(三角形,四角形,星型など)の形成も可能となった.

研究成果

• [雑誌論文] Modified Imprinting Process Using Hollow Microneedle Array for Forming Through Holes in Polymers (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Shibata, S. Yukizono, T. Kawashima, M. Nagai, T. Kubota, M. Mita
  • 雑誌名: Microelectron. Eng ページ: 2121-2125
  • DOI: DOI:10.1016/j.mee.2010.12.048
  • 査読あり
• [学会発表] マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発(第4 報)-穴加工時の振動援用効果検討- (2013)
  • 著者名/発表者名: 三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛
  • 学会等名: 2013 年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学(東京)
  • 年月日: 2013-03-15
• [学会発表] マスクレス微細加工技術と細胞機能解析用MEMS プラットフォーム (2012)
  • 著者名/発表者名: 柴田隆行(招待講演)
  • 学会等名: 第31回マイクロファブリケーションシンポジウム(理研シンポジウム)
  • 発表場所: 理化学研究所
  • 年月日: 2012-11-01
• [学会発表] マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発(第3 報)-樹脂フィルムへの貫通穴加工過程の評価- (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉田隼兵,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護
  • 学会等名: 2011 年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学(金沢市)
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] A Novel Thermal Imprinting Technique for Forming Through Holes in Polymers by Using Hollow Microneedle Array (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Shibata, J. Yoshida, M. Nagai, T. Kawashima, T. Kubota, M. Mita
  • 学会等名: The 37th International Conference on Micro and Nano Engineering 2011 (MNE 2011)
  • 発表場所: Berliner Congress Center (Berlin, Germany)
  • 年月日: 2011-09-20
• [備考]
  • URL: http://mems.me.tut.ac.jp/