小隙スリット電極による高密度大気圧プラズマの生成と高能率マスクレス溝加工への応用

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23656104
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 佐野 泰久 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40252598)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: 大気圧プラズマ / 溝加工

研究概要

大気圧プラズマは平均自由行程の小ささから、プラズマが電極近傍に局在化して生成する。しかしながら、1mm 以下の微小なプラズマを発生させるためには針状電極や細いワイヤー電極を用いる必要があり、熱的な限界から、高能率な加工は困難であった。本研究では、新たに小隙スリット付電極を用いることで、幅 0.1mm 以下の微小な溝形状を形成できることが分かり、高能率マスクレス溝加工の可能性を示すことができた。