• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2012 年度 研究成果報告書

フッ素樹脂を絶縁被覆材料とする無電解銅めっきシールド超極細同軸ケーブルの開発

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 23656105
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

山村 和也  大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60240074)

研究分担者 是津 信行  名古屋大学, グリーンモビリティー連携研究センター, 准教授 (10432519)
研究期間 (年度) 2011 – 2012
キーワード大気圧プラズマ / 無電解めっき / グラフト共重合 / ラジカル基 / フッ素樹脂
研究概要

フッ素ポリマーは低誘電率、低誘電正接であるため高周波材料として理想的である。しかしながら、表面エネルギーが低く、化学的に不活性なため、高密着性を有する金属配線をフッ素ポリマー上に作製するには何らかの表面処理が必要となる。本研究では、大気圧プラズマプロセスと液相中の自己組織化プロセスを融合させた、大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素樹脂基板表面の高密着性銅メタライジングプロセスの開発を行った。テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂(PFA)に対して大気圧ならびに中圧(0.2-4kPa)条件において He プラズマを照射したところ、形成された過酸化物ラジカルは中圧プラズマ処理と比較して、中鎖ラジカル成分が主に存在することがわかった。過酸化物ラジカル基にポリアクリルアミンをグラフト共重合させて無電解銅めっき膜を形成して 90°剥離試験を行ったところ、密着強度として 1.0 N/mm が得られ、製品規格値(0.65 N/mm)を超える PFA 表面の高密着性銅メタライジングに成功した。また FTIR 測定から、銅めっき膜が PFA のバルク部で剥離する割合は大気圧プラズマ処理のほうが中圧プラズマ処理と比べると低く、主に PFA/ポリアクリルアミングラフト層の界面で剥離しており、設計通りの無電解銅めっき膜/PFA 界面が得られていることが示唆された。これらの結果から、大気圧プラズマ処理はバルク部の機械的強度を弱めることなく、表面に高密度で中鎖ラジカルの形成が可能であり、高い密着性で銅と不活性な PFA を接着することができることが示唆された。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (12件)

  • [雑誌論文] Adhesion strength of electroless copper plated layer on fluoropolymer surface modified by medium pressure plasma2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ooka、Y. Yamamoto、Y. Hara、N. Zettsu, K. Yamamura
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523-524 ページ: 262-266

    • DOI

      DOI:10.4028/www.scientific.net/KEM.523-524.262

    • 査読あり
  • [学会発表] 大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いたフッ素ポリマー表面における選択的銅メタライジングプロセスの開発 -インクジェット法を用いた銅配線のダイレクトパターニング-2013

    • 著者名/発表者名
      佐藤悠、大岡健人、山村和也
    • 学会等名
      日本機械学会 関西学生会平成 24 年度学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪工業大学 大宮キャンパス
    • 年月日
      2013-03-15
  • [学会発表] Interfacial Analysis of Electroless Copper Thin Film on Fluorocarbon Polymer Fabricated by Plasma Irradiation with Graft Copolymerization2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ooka、Y. Hara、K. Yamamura
    • 学会等名
      International Symposium on Dry Process(DPS2012)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2012-11-16
  • [学会発表] Adhesion strength of electroless copper plated layer on fluoropolymer surface modified by medium pressure plasma2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ooka、Y. Yamamoto、Y. Hara、N. Zettsu、K. Yamamura
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Precision Engineering(ICPE2012)
    • 発表場所
      Awaji, Japan
    • 年月日
      2012-11-09
  • [学会発表] Effect of Atmospheric Plasma Treatment on Adhesion Strength of Electroless Copper Film/Fluorocarbon Polymer Interface2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ooka、Y. Hara、K. Yamamura
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, JAPAN
    • 年月日
      2012-10-23
  • [学会発表] プラズマを用いたフッ素ポリマー表面の高密着性銅メタライジングプロセスの開発 -無電解銅めっき膜の剥離界面の調査-2012

    • 著者名/発表者名
      大岡健人、原 安寛、山村和也
    • 学会等名
      2012 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      九州工業大学
    • 年月日
      2012-09-14
  • [学会発表] 中圧プラズマを用いたフッ素ポリマー表面の銅メタライジング2012

    • 著者名/発表者名
      大岡健人、原 安寛、山村和也
    • 学会等名
      精密工学会 2012 年度関西地方定期学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      立命館大学びわこ・くさつキャンパス
    • 年月日
      2012-06-15
  • [学会発表] プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング-電解銅めっき膜の密着強度におけるプラズマ発生圧力依存性-2012

    • 著者名/発表者名
      大岡健人、山本悠人、是津信行、山村和也
    • 学会等名
      2012 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      首都大学東京 南大沢キャンパス
    • 年月日
      2012-03-14
  • [学会発表] 大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面への高密着性金属配線パタン作製2011

    • 著者名/発表者名
      大岡健人、秋山弘貴、山本悠人、原 安寛、山村和也、是津信行
    • 学会等名
      Plasma Conference (PLASMA2011)
    • 発表場所
      石川県立音楽堂
    • 年月日
      2011-11-23
  • [学会発表] Fabrication of Patterned Metal Layer on Poly(tetrafluoroethylene)Substrate through Atmospheric Pressure Plasma Liquid Deposition Approach2011

    • 著者名/発表者名
      K. Ooka、H. Akiyama、Y. Yamamoto、N. Zettsu、K. Yamamura
    • 学会等名
      Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, JAPAN
    • 年月日
      2011-11-01
  • [学会発表] Study on Adhesion Strength of Cu Plating Film Formed on PTFE Substrate through Atmospheric Pressure Plasma Liquid Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Hara、K. Oooka、H. Akiyama、N. Zettsu、K. Yamamura
    • 学会等名
      Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, JAPAN
    • 年月日
      2011-11-01
  • [学会発表] 大気開放下におけるプラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング-過酸化物ラジカルの存在形態と無電解銅めっき膜の密着強度の相関-2011

    • 著者名/発表者名
      大岡健人、秋山弘貴、山本悠人、是津信行、山村和也
    • 学会等名
      2011 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2011-09-21
  • [学会発表] 大気開放下におけるプラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング2011

    • 著者名/発表者名
      大岡健人、秋山弘貴、山本悠人、是津信行、山村和也
    • 学会等名
      精密工学会 2011 年度関西地方定期学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      兵庫県立大学姫路書写キャンパス
    • 年月日
      2011-06-30

URL: 

公開日: 2014-09-25  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi