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2012 年度 研究成果報告書

可干渉性X線による回転楕円面形状測定法の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 23656106
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京大学

研究代表者

三村 秀和  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30362651)

研究期間 (年度) 2011 – 2012
キーワードX 線ミラー / 位相回復 / 形状計測
研究概要

回転楕円ミラーにより理想的な集光ビームを実現するためには、回転楕円ミラーの形状を高精度に測定し、それを元に形状を修正する必要がある。本研究では、可干渉性X線を利用した位相回復法による形状測定法を提案し、シミュレーションと可視光を利用した実験によりその可能性を示した。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura
    • 雑誌名

      Proc. SPIE

      巻: 8501 ページ: 850103

  • [学会発表] 回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発2013

    • 著者名/発表者名
      斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
    • 学会等名
      2013年精密工学会春季大会、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      20130313-0315
  • [学会発表] 回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発2013

    • 著者名/発表者名
      斎藤貴宏、本山央人、三村秀和
    • 学会等名
      第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学、名古屋市
    • 年月日
      20130112-0114
  • [学会発表] Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Takei, H. Mimura
    • 学会等名
      2012 Optics + Photonics
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      20120812-16
  • [学会発表] 位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測-光学設計と理論的検討-2012

    • 著者名/発表者名
      齋藤貴宏、三村秀和
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会、2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集
    • 発表場所
      首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市
    • 年月日
      20120314-0316
  • [学会発表] 回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発2012

    • 著者名/発表者名
      斎藤貴宏、武井良憲、J.R.Fienup,三村秀和
    • 学会等名
      第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム
    • 発表場所
      鳥栖市民文化会館、鳥栖市
    • 年月日
      20120106-0109
  • [備考]

    • URL

      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/7MimuraGr/MimuraGr.html

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公開日: 2014-09-25  

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