2012 年度研究成果報告書

参照面不要を特徴とする微小非球面レンズ測定用波長走査干渉計の開発

研究課題

研究課題/領域番号	23656111
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	光産業創成大学院大学
研究代表者	花山良平光産業創成大学院大学, 光産業創成研究科, 助教 (20418924)
研究分担者	石井勝弘光産業創成大学院大学, 光産業創成研究科, 准教授 (30311517)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	精密位置決め・加工計測 / 光干渉計測
研究概要	本研究では参照面不要を特徴とする2つの干渉計の構築を行った。1つには光軸に対して回転方向と半径方向の直交する2方向のシアリング干渉計測を可能とする極座標系シアリング干渉計の構築に成功した。次に液晶空間光位相変調器を参照鏡に用いた零位法干渉計の構築を行い、測定のダイナミックレンジを向上させることが可能であることを示した。また、干渉縞位相検出手法のあらたな評価方法を開発し、位相検出手法の改良を行った。