|
小型でかつ高性能なマイクロヒートパイプや潜熱回収型熱交換器の開発のため、マイクロ流路内のナノ構造体による毛管凝縮の熱流動現象の評価法を検討した。
電子線描画装置、ドライエッチング装置および集束イオンビーム加工観察装置を用いて、ガラス基板とシリコン基板の加工法を検討し、基板上に直径500nm程度の円錐形の細孔の形成に成功した。
環境制御型SEMを用いて、作成したナノ構造体の間に凝縮する水の可視化計測法を開発した。低真空・水蒸気雰囲気下で、観察ステージを冷却し、凝縮した水の観察が可能となった。
ナノ構造体による凝縮のダイナミクスの計測により、古典的な毛管凝縮の理論式であるケルビンの式との比較を試みた。また、凝縮水の体積の時間変化を計測し、凝縮速度の算出を試みた。
|
