2012 年度研究成果報告書

UMS技術によるガラス薄膜の評価

研究課題

研究課題/領域番号	23656260
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	計測工学
研究機関	東北大学
研究代表者	櫛引淳一東北大学, 大学院・工学研究科, 名誉教授 (50108578)
研究分担者	荒川元孝東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00333865)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 薄膜 / 音響特性計測 / 不純物 / 欠陥
研究概要	超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術をガラス薄膜の評価に適用した。RFイオンビームスパッタリング法により、2枚のSiO_2ガラス基板上にSiO_2/Ta_2O_5多層膜を成膜し、そのうちの1枚を熱処理した。直線集束ビーム超音波材料解析システムにより漏洩弾性表面波(LSAW)速度の周波数特性を測定することにより、熱処理によるLSAW速度変化を捉えた。また、RFスパッタリング法によりTiO_2-SiO_2薄膜をSiO_2ガラス基板およびTiO_2-SiO_2ガラス基板上に製膜し、膜の仮想温度変化に起因するLSAW速度変化を捉えた。