ZnO とβ-AgGaO2の混合粉末をターゲットとして、rf-マグネトロンスパッタ法により、ウルツ鉱型 ZnO とウルツ鉱型の派生構造であるβ-NaFeO2型β-AgGaO2との混晶薄膜(1-x)ZnO -x(AgGaO2)1/2を作製した。0<x<0.33 の範囲でウルツ鉱型の単相薄膜が生成することが明らかとされた。0.67ZnO-0.33(AgGaO2)1/2組成で、そのバンドギャップは2.55eV(波長 485nm)であり、ZnO のバンドギャップを青色の領域まで小さくすることに成功した。
|