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2013 年度 実績報告書

リソグラフィー技術と合金の相分離現象を融合した超高アスペクト比微細加工法の創成

研究課題

研究課題/領域番号 23656446
研究機関東北大学

研究代表者

小泉 雄一郎  東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (10322174)

研究分担者 西山 宏昭  山形大学, 理工学研究科, 准教授 (80403153)
キーワード微細加工 / リソグラフィー / 相分離 / 塑性ひずみ / 相変態 / 析出 / チタンーアルミ合金 / 層状組織
研究概要

昨年度に報告したとおり、リソグラフィーで作製したモールドのインプリントによる、Ti-Al合金中のγ相析出サイトの制御は困難であった。しかしながら、インプリントされた表面には、圧痕を繋ぐように底面すべりの痕跡が連なっていたことから、局所塑性加工による底面すべりの導入自体は可能であることが示唆された。その為、ダイヤモンドナイフを用いた超微細塑性加工により相分離の起点を一定間隔に制御する新しい加工技術の開発に挑戦した。この研究では、アーク溶解によりγ相とα2相が交互に積層した層状組織をもつTi-39at%Al母合金を作製し、光学式浮遊帯域溶融法による単結晶育成後、板状結晶を切り出した。板面はγ-TiAl相が析出する(0001)面と垂直な{7 -2 -5 0}面とした. 溶体化処理、真空封入後、α単相となる1473 Kにて溶体化した後に氷水中に焼き入れることでAl過飽和α2単結晶を得た。その結晶表面に、ダイヤモンドナイフを(0001)底面そって押し当て、先端角度60°刃渡り0.6 mmあるいは1.5 mmのV字状超微細塑性加工装置を用い、2μmから40μmの一定間隔で、2~5N の荷重を加え、局所的に塑性変形を加えた。加工溝周辺の内部組織を、集束イオンビーム(FIB)加工により作製した薄膜の透過電子顕微鏡(TEM)観察し、変形部の下にのみ(0001)底面に沿って高密度な転位の帯が形成されることを見出した。これに800℃での二相化焼鈍を施すと、試料全体にγ-TiAl相が生じてしまった。この理由として、800℃では未加工部でも相分離の駆動力が大きく、加工による駆動力上昇の効果が小さい為と考え、未加工部での駆動力が下がるように時効温度を900℃に挙げて実験したところ、加工部のみγ相が析出し、γ相の分布を制御することができた。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2014 2013

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (7件) (うち招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Selective pore growth on Ti-41at%Al alloy2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Tsuchiya, Toshifumi Akaki, Yuichiro Koizumi, Yoritoshi Minamino, Shinji Fujimoto
    • 雑誌名

      Electrochemistry Communications

      巻: 26 ページ: 117-120

    • DOI

      10.1016/j.elecom.2012.08.025

    • 査読あり
  • [学会発表] Ti-Al合金の加工・熱処理による組織制御とナノラメラ多孔体創製2014

    • 著者名/発表者名
      小泉 雄一郎
    • 学会等名
      日本金属学会春期 (第154回) 講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      20140321-20140323
    • 招待講演
  • [学会発表] Control of phase decomposition by nano-plastic deformation in Ti-39 at.%Al single crysta2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba, Hiroaki Nishiyama, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino
    • 学会等名
      日本金属学会春期 (第154回) 講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      20140321-20140323
  • [学会発表] Control of phase decomposition by nano-plastic deformation in Ti-39 at.%Al single crysta2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba
    • 学会等名
      2014 Ann. Meeting of Excellent Graduate Schools for "Mater. Integration Center" and "Materials Science Center" in conjunction with Inter Workshop on Adv. Mater. Synthesis Process and Nanostructure
    • 発表場所
      Akiu, Sendai
    • 年月日
      20140310-20140321
  • [学会発表] Nano-laminated Ti3Al Porous Structure Produced by Hot Forging and Selective Dissolution2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba
    • 学会等名
      2014 Functional Nanomaterials: Synthesis, Properties and Applications ― Nanomanufacturing I, TMS 2014 143rd Annual Meeting & Exhibition, San Diego, USA, 2014.2.16-20.
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      20140216-20140220
  • [学会発表] ナノ塑性加工による金属ナノラメラ多孔体製造の試みと電子ビーム積層造形の可能性2014

    • 著者名/発表者名
      小泉雄一郎
    • 学会等名
      応用物理学会、ナノインプリント研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20140214-20140214
    • 招待講演
  • [学会発表] Laminated Porous Structure Produced by Selective Dissolution and Anodization2014

    • 著者名/発表者名
      魏 代修, 小泉 雄一郎, 千葉 晶彦
    • 学会等名
      第12 回日本金属学会東北支部研究発表大会
    • 発表場所
      名取
    • 年月日
      20140113-20140113
  • [学会発表] Refinement of Ti3Al Laminated Porous Structure by Hot Forging and Selective Dissolution2013

    • 著者名/発表者名
      魏 代修, 小泉 雄一郎, 千葉 晶彦
    • 学会等名
      日本金属学会秋期 (第153回) 講演大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      20130917-20130919
    • 招待講演

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公開日: 2015-05-28  

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