2012 年度研究成果報告書

マイクロ波熱プラズマCVDによるグラフェンの固相析出エピタキシー

研究課題

研究課題/領域番号	23656450
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	材料加工・処理
研究機関	東京大学
研究代表者	光田好孝東京大学, 生産技術研究所, 教授 (20212235)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	グラフェン / 拡散 / 析出
研究概要	グラファイト構造炭素の単原子層はグラフェンと呼ばれ、電気伝導などに関して特異な性質を持つことが知られている。これまでのグラフェンの合成手法では大面積なものが得られず、研究や応用の妨げとなっていた。本研究では、液体の食塩水の温度を下げると固体の塩の結晶が析出するように、高温の固体金属から炭素が析出する現象を用いてグラフェン成長が可能かを実験的に調査した。結果として、結晶性を持つ金属から非晶質の炭素膜が析出することが明らかとなった。

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