2012 年度研究成果報告書

プラズマー無機/有機ナノ表界面の複合反応解明による新しい機能制御積層技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号	23656465
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	材料加工・処理
研究機関	大阪大学
研究代表者	節原裕一大阪大学, 接合科学研究所, 教授 (80236108)
連携研究者	竹中弘祐大阪大学, 接合科学研究所, 助教 (60432423)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	プラズマ加工 / 無機/有機界面 / 無機/有機積層
研究概要	本研究では、無機/有機ナノ表界面におけるプラズマ(荷電粒子・ラジカル・光)との複合的な反応過程の解明を通じて新しい機能制御積層技術を開発することを目的とし、損傷生成過程の解明と新しい低損傷プロセス技術の開発に主眼を置いて研究を行った。その結果、特に照射イオンのエネルギー制御により、反応性プロセスでの表界面の損傷を数nm程度に抑制可能であることが示され、新しい積層技術としての発展が期待される。

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