研究課題
挑戦的萌芽研究
マイクロビーム形成システムの分解能は1ミクロン以下を達成していたがものの、CTにおいてはビーム強度が十分でないため、ミクロンCTの分解能が5ミクロン程度にまで制限されていた。そこでビーム強度の増大するため、加速器電圧の安定度の向上図った。その結果、電圧安定度は大幅に向上し、1マイクロメートルの分解能で250pA程度の大電流ビームを得ることが可能となった。試料の照準と照射するために、サンプルステージの改良を行い、ビーム軸に対して直角にサンプルを配置できるようにした。これにより、CT測定を行い、照射することが可能となった。
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