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2011 年度 実績報告書

近接場顕微分光法による窒化物半導体発光素子の効率ドループ機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 23686003
研究機関京都大学

研究代表者

金田 昭男  京都大学, 工学研究科, 助教 (80372572)

キーワード走査プローブ顕微鏡 / 半導体物性 / マルチモード近接場分光 / 過渡レンズ法 / 効率ドループ
研究概要

本研究では,発光の内部量子効率に主眼を置き,InGaN量子井戸のキャリアダイナミクスを,近接場顕微分光測定によってナノスケールで可視化し,InGaN発光デバイスにおいて効率ドループを引き起こす物理現象を解明することである.本年度の主な成果を以下にまとめる.
マクロ発光測定の結果から,青色LEDでは内部量子効率が効率ドループ現象に寄与しないこと,緑色LEDでは内部量子効率が強く関与することが示唆された.そこで,この積分発光強度の飽和現象とキャリアダイナミクスの関わりを明らかにするために,近接場発光測定,時間分解近接場発光測定を行った.
これまで,ナノスケールのキャリアダイナミクスの可視化には,局所励起・局所集光法と局所励起・マクロ集光法を同一場所に行う,マルチモード法を用いてきた.しかし,この方法では,励起場所以外にキャリアがないため,キャリアの面内拡散が促進されてしまい,実デバイスの動作時とはキャリアダイナミクスが異なる恐れがある.そこで,本研究の特色として,マクロ励起・局所集光法とマクロ励起下のマルチモード法を行うことにより,デバイスの動作状況に近い状態でのキャリアダイナミクスの可視化に取り組んだ.
その結果,青色発光InGaN SQWでは,励起パワー密度の増加によって,キャリアが局在準位から非局在準位へオーバーフローするが,ポテンシャル障壁により,キャリアが非発光中心に捕獲されにくいことが分かった,一方,緑色発光InGaN SQWでは,ポテンシャル障壁は存在するものの,高In組成領域における貫通転位密度の増加により非発光中心への捕獲確率が高くなっていた.そのため,励起パワー密度が高くなると,キャリアが発光強度の強い領域から,貫通転位に起因した非発光中心が存在する高In組成領域へ拡散し,非発光再結合するキャリアの割合が増えることが判明した.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

青色LEDでは,効率ドループ現象へ内部量子効率の関与がないこと,緑色LEDでは,内部量子効率のドループが効率ドループ現象に関わっていることを明らかにした点,また,内部量子効率ドループのメカニズムとして,キャリア数の増加により,局在準位から非局在準位へのキャリアのオーバーフローとキャリアの面内拡散の促進により,キャリアの非発光中心への捕獲確率が増加していること解明した点で順調に進んでいると判断している.

今後の研究の推進方策

これまでは,実デバイスに用いられているC面InGaN量子井戸構造の評価を重点的に進めてきた.次年度では,C面InGaN量子井戸では高効率発光の実現が困難な,緑色領域やより長波長領域において高効率発光の実現が期待される,反極性面InGaN量子井戸構造の評価に注力していく.また,近接場過渡レンズ法を用いることで,効率ドループ現象を引き起こす要因の一つと挙げられているオージェ再結合過程のキャリアダイナミクスへの関与の有無および可視化に取り組んでいく.

  • 研究成果

    (25件)

すべて 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (14件) 備考 (1件) 産業財産権 (4件) (うち外国 3件)

  • [雑誌論文] Lateral charge carrier diffusion in InGaN quantum wells2012

    • 著者名/発表者名
      J. Danhof, H. M. Solowan, U. T. Schwarz, A. Kaneta, Y. Kawakami, D. Schiavon, T. Meyer and M. Peter
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Solidi B

      巻: 49 ページ: 480-484

    • DOI

      DOI:10.1002/pssb.201100476

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single mode emission and non-stochastic laser system based on disordered point-sized structures : toward a tuneable random laser2011

    • 著者名/発表者名
      R.Bardoux, A.Kaneta, M.Funato, K.Okamoto, Y.Kawakami, A.Kikuchi, K.Kishino
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 19 ページ: 9262-9268

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optical gain spectroscopy of a semipolar 11-22-oriented green InGaN laser diode2011

    • 著者名/発表者名
      Y.S.Kim, A.Kaneta, M.Funato, Y.Kawakami, T.Kyono, M.Ueno, T.Nakamura
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 4 ページ: 052103/1-3

    • DOI

      10.1143/APEX.4.052103

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Time-of-flight measurements of charge earner diffusion in In_xGa_<1-X>N/GaN quantum wells2011

    • 著者名/発表者名
      J.Danhof, U.T.Schwarz, A.Kaneta, Y.Kawakami
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 84 ページ: 035324/1-5

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.84.035324

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Micromirror arrays to assess luminescent nano-objects2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Kawakami, A.Kanai, A.Kaneta, M.Funato, A.Kikuchi, K.Kishino
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 82 ページ: 053905/1-5

    • DOI

      10.1063/1.3589855

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Time-resolved photoluminescence of Al-rich AlGaN/AlN quantum wells under selective excitation2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Iwata, T.Oto, A.Kaneta, R.G.Banal, M.Funato, Y.Kawakami
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi C

      巻: 8 ページ: 2191-2193

    • DOI

      10.1002/pssc.201001083

    • 査読あり
  • [学会発表] 窒化アルミニウムにおける静水圧変形ポテンシャルの同定2012

    • 著者名/発表者名
      石井良太, 金田昭男, 船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      第59回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学早稲田キャンパス早稲田中・高等学校興風館
    • 年月日
      2012-03-17
  • [学会発表] 近接場分光による局在・輻射・非輻射再結合ダイナミクスの評価2012

    • 著者名/発表者名
      川上養一, 船戸充, 金田昭男
    • 学会等名
      第59回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学早稲田キャンパス早稲田中・高等学校興風館
    • 年月日
      2012-03-15
  • [学会発表] Recombination Dynamics in Nitride Semiconductors by Scanning Near-field Optical Microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Kawakami, A.Kaneta, M.Funato
    • 学会等名
      5th GCOE Intern.Symp.on Photonics and Electronics Science and Engineering
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2012-03-08
  • [学会発表] 窒化アルミニウムの電子状態に対する歪みの効果2011

    • 著者名/発表者名
      石井良太, 金田昭男, ライアンバナル, 船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2011-11-18
  • [学会発表] Optical gain spectra in semipolar {20-21} oriented green InGaN LDs in comparison with (0001)LDs2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, A.Kaneta, M.Funato, Y.Kawakami, T.Kyono, M.Ueno, T.Nakamura
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2011-11-18
  • [学会発表] 一軸性応力下におけるAlN薄膜のPLスペクトル2011

    • 著者名/発表者名
      石井良太, 金田昭男, R.G.Banal, 船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-01
  • [学会発表] 近接場顕微分光測定によるInGaN量子井戸中のキャリア拡散が効率ドループ現象へ与える影響2011

    • 著者名/発表者名
      金田昭男, 橋谷亨, 船戸充, 川上養一
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-01
  • [学会発表] Local carrier dynamics in InGaN quantum wells studied by scanning near-field optical microscopy2011

    • 著者名/発表者名
      A.Kaneta, M.Funato, Y.Kawakami
    • 学会等名
      2011 Optics+Photonics
    • 発表場所
      California, USA(Invited)
    • 年月日
      2011-08-25
  • [学会発表] Lateral charge carrier diffusion in InGaN quantum wells2011

    • 著者名/発表者名
      J.Danhof, U.T.Schwarz, A.Kaneta, Y.Kawakami
    • 学会等名
      9th Intern.Conf.on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Glasgow, UK
    • 年月日
      2011-07-12
  • [学会発表] Well width dependence of the Mott density in Al-rich AlGaN/AlN quantum wells assessed by time-resolved photoluminescence2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Iwata, T.Oto, A.Kaneta, R.G.Banal, M.Funato, Y.Kawakami
    • 学会等名
      9th Intern.Conf.on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Glasgow, UK
    • 年月日
      2011-07-12
  • [学会発表] Impact of internal quantum efficiency on the droop phenomena studied by scanning near-field optical microscopy in InGaN single quantum wells2011

    • 著者名/発表者名
      A.Kaneta, A.Hashiya, M.Funato, Y.Kawakami
    • 学会等名
      9th Intern.Conf.on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Glasgow, UK
    • 年月日
      2011-07-11
  • [学会発表] Uniaxial Stress Dependence of the Exci tonic Transition in AlN2011

    • 著者名/発表者名
      R.Ishii, A.Kaneta, R.G Banal, M.Funato, Y.Kawakami
    • 学会等名
      30th Electronic Materials Symposium
    • 発表場所
      Shiga, Japan
    • 年月日
      2011-06-29
  • [学会発表] Optical gain spectra in semipolar {20-21} oriented green InGaN LDs in comparison with (0001)LDs2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, A.Kaneta, M.Funato, Y.kawakami, T.Kyono, M.Ueno, T.Nakamura
    • 学会等名
      30th Electronic Materials Symposium
    • 発表場所
      Shiga, Japan
    • 年月日
      2011-06-29
  • [学会発表] InGaN/GaN quantum disks and random lasing : toward a quantum dot laser system based on disordered media2011

    • 著者名/発表者名
      R.Bardoux, A.Kaneta, M.Funato, Y.Kawakami, A.Kikuchi, K.Kishino
    • 学会等名
      E-MRS
    • 発表場所
      Nice, France
    • 年月日
      2011-05-11
  • [備考]

    • URL

      http://www.optomater.kuee.kyoto-u.ac.jp/

  • [産業財産権] 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出装置2012

    • 発明者名
      西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 権利者名
      京都大学, 西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 産業財産権番号
      欧州特願10792074,6
    • 出願年月日
      2012-01-20
    • 外国
  • [産業財産権] 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出装置2011

    • 発明者名
      西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 権利者名
      京都大学, 西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 産業財産権番号
      特願2010-128252
    • 出願年月日
      2011-12-21
  • [産業財産権] 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出装置2011

    • 発明者名
      西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 権利者名
      京都大学, 西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 産業財産権番号
      米国特願13/380
    • 出願年月日
      2011-12-22
    • 外国
  • [産業財産権] 走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出装置2011

    • 発明者名
      西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 権利者名
      京都大学, 西村活人, 川上養一, 船戸充, 金田昭男, 橋本恒明
    • 産業財産権番号
      イスラエル特願未定
    • 出願年月日
      2011-12-22
    • 外国

URL: 

公開日: 2013-06-26  

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