| 研究概要 |
電子線リソグラフィや電子顕微鏡検査の高速化のため、超並列微小電子源の開発が喫緊の課題となっている。しかし、多数並んだ電子源を電気的に個別制御することが難しく、実現に至っていない。申請者はこれまで、光学的に電子放出を制御する「プラズモン共鳴電子源」の原理を提案し、科学研究費補助金の支援を受けて研究を推進してきた。本申請では、この原理をさらに詳細に探求するとともに、この原理を発展させた「プラズモン超収束電子源」を確立する。さらに、光制御超並列電子源の実現に向け、(1)裏面からの光照射によって動作する電子源アレイの開発および(2)マイクロミラーアレイデバイスによる電子源アレイの個別光制御の2つに取り組む。
平成23年度交付申請において、平成23～24年度の研究計画として下記の達成項目を挙げていた。
平成23年度:I.電子エネルギ分光によるプラズモン共鳴電子放出の起源の解明
II.照射光の変調に対するプラズモン共鳴電子放出の周波数特性とその高速化
平成24年度:III.軸対称偏光照射に対するプラズモン共鳴特性と、裏面照射への応用
IV-a.裏面光照射により動作するプラズモン共鳴電子源アレイの製作(小規模)
このうち、当初平成23年度に実施する予定であった項目I,IIに替えて、24年度に実施する予定であった項目III,IV-aを優先して23年度に取り組むこととした。その結果、III.に関し、電子源アレイに適用可能な微小軸対称偏光素子の開発に成功した。さらに、IV-aに関し、突起10000個程度の構造体を作成し、ここからの電子放出および光照射による放出の増強を確認した。
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