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本研究では，プラズモン共鳴による電界放出の増強を利用した光制御電界放出電子源アレイの開発をめざし，電子線放出に適した電子源構造の検討および光照射方法の開発，電子源アレイの製作と評価を行った．高密度に集積化された電子源アレイに対し，個別的な光制御によって効率的な電界放出の増強を行うために，軸対称偏光によるプラズモン励起が効率的であることが分かった．これを可能にすべく，軸対称偏光子を多数アレイ化した素子を製作した．本研究の過程で金属ナノ構造からなるマイクロ光変調素子を製作し，可視光域で非常に高い透過率を得られることを示した．
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