2013 年度研究成果報告書

ナノ液滴を原料とするレーザーＣＶＤ法の開発と機能性セラミックス膜プロセスへの応用

研究課題

研究課題/領域番号	23686096
研究種目	若手研究(A)
配分区分	補助金
研究分野	無機材料・物性
研究機関	一般財団法人ファインセラミックスセンター
研究代表者	木村禎一一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 研究員 (10333882)
研究期間 (年度)	2011-04-01 – 2014-03-31
キーワード	化学気相析出 / 静電噴霧 / レーザー / コーティング / 高結晶性膜 / 高密度膜 / 低温成膜 / 大気圧CVD
研究概要	液体への電圧印加によって生成する微小液滴を原料として用いる化学気相析出法（静電噴霧CVD）にレーザーを導入し、新たな酸化物セラミックスの成膜方法を開発した。この方法では、液滴に含まれる溶媒の蒸発や原料化合物の揮発にともなう表面温度の低下をレーザー照射によって抑制し、さらに、帯電液滴間の静電反発を利用することによって、大気圧等の高圧力下でも気相中での均一化反応を抑制できるため、従来CVDよりも原料効率および成膜速度が向上できることを明らかにした。