研究課題
若手研究(A)
本研究では、ソフトリソグラフィーとダイレクトメタライズ法を融合し、埋込み型の微細配線を描画したポリイミド系フィルムの化学的合成手法の開発に挑戦した。内部に導入した金属イオンを樹脂表面にて薄膜化させるダイレクトメタライズプロセスの反応機構を明らかにするとともに、全行程を水溶液のみを用いて行う低環境負荷、省エネルギー性に優れた手法の確立に成功した。また、金属ナノ粒子を析出させた触媒基板の作製と、電気化学プロセスを利用した新規メタライズ手法の提案にも取り組み、世界に先駆けて汎用性に優れたメタライズ技術の開発に成功した。
すべて 2014 2013 2012 2011
すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (21件) 図書 (1件) 産業財産権 (1件) (うち外国 1件)
RSC Advances
巻: 3 ページ: 16243-16246
プラスチックスエージ
巻: 3 ページ: 55-60
工業材料
巻: 5 ページ: 39-42
巻: 5 ページ: 47-50
表面技術
巻: 63 ページ: 95-99
J. Phys. Chem. C
巻: 116 ページ: 1794-17954
エレクトロニクス実装学会誌
巻: No.7
Langmuir
巻: 27 ページ: 11761-11766
