カーボンナノファイバーのプラスチック表面への直接領域選択合成

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23710123
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 森 伸介 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (80345389)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: ナノ構造形成 / 制御 / カーボンナノファイバー

研究概要

低温かつ無触媒でCNFが合成できるという我々が開発したプラズマCVD法と、フォトリソグラフィープロセスとを組み合わせることで、工程数の少ない簡易な領域選択合成プロセスの開発を行った。その結果、プラスチック基板および金属配線を施したプラスチック基板の上へ、領域選択的にCNFを合成することができた。したがって当初の計画通り、プラスチック基板上へのカーボンナノファイバーの直接領域選択合成に成功した。

研究成果

• [雑誌論文] Modification of a-C:H film surface by atmospheric pressure plasma jet for liquid crystal alignment (2012)
  • 著者名/発表者名: Alibi Baitukha, Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: Vol.523 ページ: 37-40
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synthesis of carbon nanowalls by plasma-enhanced chemical vapor deposition in a CO/H2 microwave discharge system (2011)
  • 著者名/発表者名: Shinsuke Mori, Takanori Ueno, Masaaki Suzuki
  • 雑誌名: Diamond & Related Materials 巻: Vol.20 ページ: 1129-1132
  • 査読あり
• [学会発表] Fabrication of a-C:H thin film by Atmospheric Pressure Plasma Jet for Liquid Crystal Alignment (2012)
  • 著者名/発表者名: Baitukha Alibi、森伸介、鈴木正昭
  • 学会等名: 化学工学会第77年会
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 20120315-17
• [学会発表] FTIR analysis of transparent carbon films deposited by low pressure PECVD and atmospheric pressure APPJ (2012)
  • 著者名/発表者名: Alibi Baitukha, Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki
  • 学会等名: Abstracts of 11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11thAPCPST)
  • 発表場所: Kyoto, JAPAN
  • 年月日: 2012-10-25
• [学会発表] カーボンナノファイバーの無触媒低温プラズマCVDにおける基板形状の影響 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森伸介、山田悠介、鈴木正昭
  • 学会等名: 化学工学会第43回秋季大会
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 20110914-16
• [学会発表] Optical and Langmuir probe diagnostics of an Argon plasma in an RF reactive magnetron sputtering system (2011)
  • 著者名/発表者名: Shinsuke Mori, Houssam Fakhouri, Jerome Pulpytel, Farzaneh Arefi-Khonsari
  • 学会等名: Proceedings of 20th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC20)
  • 発表場所: Philadelphia, USA
  • 年月日: 20110724-29
• [学会発表] Influence of CO/H2 gas mixture ratio on the structure of carbon thin films by PECVD (2011)
  • 著者名/発表者名: Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki
  • 学会等名: 第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
  • 発表場所: 大阪大学
  • 年月日: 20110719-20
• [学会発表] Modification of a-C:H film surface byAtmospheric Pressure Plasma Jet for LiquidCrystal Alignment (2011)
  • 著者名/発表者名: Alibi Baitukha, Shinsuke Mori, MasaakiSuzuki
  • 学会等名: 第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
  • 発表場所: 大阪大学
  • 年月日: 20110719-20