研究課題
若手研究(B)
高密度 X 線ナノビーム形成を目指し, 大縮小倍率を持つ集光ミラーを作製するための基礎技術の確立を進めた.許容形状誤差・アライメント誤差を見積もるために,フレネルキルヒホッフ回折積分に基づいたシミュレータを開発した.また,X 線ミラー作製に特化したイオンビーム加工装置を開発した.これを用いて楕円形状を作製したところ,一度の加工で 2nm (peak-to-valley)の精度で作製することに成功した.
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