研究課題
若手研究(B)
プラズマによって生成された活性酸素をグラファイト表面に作用させることで、グラフェンシートを一層ずつエッチングできることが分かった。しかし、ラマン分光測定からエッチングによって作製したグラフェンは酸化していることが分かった。酸化分解過程のより詳しい評価を行ったところ、一定時間のエッチングであれば表面第一層のみの酸化であることが分かった。これらの結果から、グラフェンの総数を制御した加工技術を確立できる可能性が見えてきた。今後は、表面第一層の酸化層を取り除く技術を確立する必要がある。
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Journal of Physical Chemistry C
巻: 116 ページ: 20300
doi:10.1021/jp303152c
Journal of Vacuum Science & Technology A
巻: 30 ページ: 051402
doi:10.1116/1.4736946