2013 年度研究成果報告書

金ナノディスクペアの局所表面プラズモン共鳴を利用した光計測型応力センサの研究

研究課題

研究課題/領域番号	23710156
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	菅哲朗東京大学, 情報理工学(系)研究科, 助教 (30504815)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	LSPR / ナノ粒子 / 偏光 / 歪センサ / ワイヤレス
研究概要	本研究は、物体内部に働く力を非侵襲的に計測する、光読み取り型の極微小な応力計測センサを提案する。そのために、金属ナノ粒子が持つ局所表面プラズモン共鳴効果を利用する。エラストマ基板上に配置された、約20nmのギャップを持つ、直径約100nm、高さ約50nmの2枚の金ナノディスクによるペア構造を製作した。エラストマ基板に歪を与えた状態でスペクトル計測を行い、ギャップの伸縮に応じて金ナノディスクペアの散乱光スペクトルが変化することを確認し、歪を光学的に読み取ることで応力を計測できることを確認した。本センサはsub μmの極小サイズに構成可能なので、埋め込みの侵襲を抑えた応力計測が実現可能となる。