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2013 年度 研究成果報告書

超薄膜メカニカル光波検出素子に関する研究

研究課題

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研究課題/領域番号 23760025
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関東京大学

研究代表者

米谷 玲皇  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (90466780)

研究期間 (年度) 2011 – 2013
キーワードナノメカニクス / プラズモニクス / 超薄膜 / 集束イオンビーム / ナノ機械振動子 / NEMS / 波長計測 / 光通信
研究概要

本研究の目的は、波長分割多重化通信技術を活用した次世代大容量アクセスネットワーク実現に資する光波検出素子の創出である。本研究では、ナノメカニカル振動子とプラズモニック構造を活用した波長計測に関する研究を行った。また、超高分解能な波長計測を達成するために、ナノメカニカル振動子の高Q値化に関する研究も進めた。結果として、支持部の曲げを利用した歪印加手法が振動子の高Q値化に有効であることを示した。また、U型キャビティ構造を有するナノメカニカル振動子により2.2 pmの波長分解能で光の波長計測ができることを示した。

  • 研究成果

    (30件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (19件) (うち招待講演 2件) 図書 (1件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Superconductivity in Tungsten-Carbide Nanowires Deposited from the Mixtures of W(CO)6 and C14H102013

    • 著者名/発表者名
      J. Dai, K. Onomitsu, R. Kometani, Y. Krockenberger, H. Yamaguchi, S. Ishihara, Shin'ichi Warisawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 ページ: 075001

    • DOI

      10.7567/JJAP.52.075001

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of ultra-long horizontal free-space-nanowire by the real-time feedback control of the scanning speed on focused-ion-beam chemical vapor deposition2013

    • 著者名/発表者名
      D. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 31 ページ: 061601

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Nanomechanical Resonator from HSQ Fabricated by FIB/EB Dual Beam Lithography2012

    • 著者名/発表者名
      S. Warisawa, K. Kuroda, S. Chen, R. Kometani, S. Ishihara
    • 雑誌名

      J. Photopolym.Sci. Technol.

      巻: 25 ページ: 37

    • DOI

      10.2494/photopolymer.25.37,10.1116/1.4824170

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Three-Dimensional Nanostructure Fabrication by Controlling Downward Growth on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      D. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 ページ: 065001

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.065001

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanomechanical tuning forks fabricated using focused-ion-beam chemical vapor deposition2012

    • 著者名/発表者名
      H. Ashiba, R. Kometani, S. Warisawa Sunao Ishihara
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. B

      巻: 30 ページ: 06FD03

    • DOI

      10.1116/1.4766315

  • [雑誌論文] High Quality Factor Graphene Resonator Fabrication Using Resist Shrinkage-Induced Strain2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Oshidari, T. Hatakeyama, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 5 ページ: 117201

    • DOI

      10.1143/APEX.5.117201

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dynamic Characteristics Control of DLC Nano-Resonator Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Nishi, S. Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. B

      巻: 29 ページ: 06FE03

    • DOI

      10.1116/1.3662493

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Carbon nanomechanical resonator fabrication from PMMA by FIB/ electron-beam dual-beam lithography2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, T. Hatakeyama, K. Kuroda, S. Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. B

      巻: 29 ページ: 06FE06

    • DOI

      10.1116/1.3662083

    • 査読あり
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡を利用した微小機械振動子の動特性プロファイリング2014

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇,中野 和洋,石原 直,割澤 伸一
    • 学会等名
      2014年第34回応用物理学会春季田学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学,神奈川県
    • 年月日
      2014-03-18
  • [学会発表] The growth height correction on the three-dimensional nanostructure fabrication using focused-ion-beam chemical vapor deposition2013

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, Y. Murao, S. Ishihara, S. Warisawa
    • 学会等名
      26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
    • 発表場所
      Oral, Royton Sapporo, Hokkaido, Japan
    • 年月日
      2013-11-07
  • [学会発表] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス研究2013

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇
    • 学会等名
      公益社団法人 新化学技術推進協会 電子情報技術部会MEMS分科会講演会
    • 発表場所
      新化学技術推進協,東京都
    • 年月日
      2013-10-15
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノメカニクスとその波長計測への応用2013

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学,京都府
    • 年月日
      2013-09-16
    • 招待講演
  • [学会発表] FIB-CVDを用いた3 次元ナノ構造形成における構造形成高さの補正2013

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇,村尾 裕規,石原 直,割澤 伸一
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学,大阪府
    • 年月日
      2013-09-13
  • [学会発表] Optomechanical resonator fabrication with the surface plasmon antenna for the wavelength detection2013

    • 著者名/発表者名
      Reo Kometani, Hui Liu, Shin'ichi Warisawa, Sunao Ishihara
    • 学会等名
      The 57th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2013)
    • 発表場所
      Oral, Nashville, US
    • 年月日
      2013-05-31
  • [学会発表] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価2013

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇,劉 琿,割澤 伸一,石原 直
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,神奈川県
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] Evaluation of Resonance Detection Properties on Vibration Measurement of the Mechanical Resonator using Scanning Probe Microscope2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Mifune, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 学会等名
      25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
    • 発表場所
      Oriental Hotel, Kobe, Japan
    • 年月日
      2012-11-01
  • [学会発表] Strained-nanomechanical resonator fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography and annealing treatment2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 学会等名
      38th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2012)
    • 発表場所
      Toulouse, France(ポスター)
    • 年月日
      2012-09-17
  • [学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの3 次元ナノ構造作製2012

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇,黒田 耕平,割澤 伸一,石原 直
    • 学会等名
      第73回秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学,愛媛県
    • 年月日
      2012-09-12
  • [学会発表] FIB/EB Dual-beam Lithography2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani
    • 学会等名
      Next Generation Lithogtaphy Workshop 2012 (NGL2012)
    • 発表場所
      東京工業大学,東京都
    • 年月日
      2012-07-20
  • [学会発表] The three-dimensional nanostructure fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 学会等名
      The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2012)
    • 発表場所
      Hawaii, USA(口頭)
    • 年月日
      2012-05-31
  • [学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製とその特性評価2012

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇,畠山 大輝,黒田 耕平, 割澤 伸一,石原 直
    • 学会等名
      2012年第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学,東京都
    • 年月日
      2012-03-15
  • [学会発表] Q Factor Improvement of DLC Nanoresonator using a Fluorine Surface Coating2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2011)
    • 発表場所
      Omiya Sonic City, Saitama, Japan(口頭)
    • 年月日
      2011-11-10
  • [学会発表] Strained Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from SU-8 by FIB/EB Dual-beam Lithography and Annealing Treatment2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 学会等名
      24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
    • 発表場所
      ANA Hotel Kyoto, Kyoto, Japan(口頭)
    • 年月日
      2011-10-27
  • [学会発表] FIB/EB デュアルビームリソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製2011

    • 著者名/発表者名
      米谷 玲皇,畠山 大輝,黒田 耕平, 割澤 伸一,石原 直
    • 学会等名
      2011年第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      タワーホール船橋,東京都
    • 年月日
      2011-09-26
  • [学会発表] Relationship between Q factor and the surface condition of the DLC nanoresonator fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, H. Shimizu, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 学会等名
      37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)
    • 発表場所
      Berlin, Germany(ポスター)
    • 年月日
      2011-09-20
  • [学会発表] Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from PMMA by FIB/EB Dual-Beam Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, T. Hatakeyama, K. Kuroda, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 学会等名
      The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
    • 発表場所
      Las Vegas, Nevada, USA(口頭)
    • 年月日
      2011-06-02
  • [学会発表] Dynamic Characteristics Control of DLC Nano-Resonator Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Nishi, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 学会等名
      The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
    • 発表場所
      Las Vegas, Nevada, USA(ポスター)
    • 年月日
      2011-06-01
  • [図書] ナノ・マイクロスケール機械工学(石原直, 加藤千幸, 光石衛, 渡邊聡[編])2014

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇
    • 総ページ数
      第3章3.2.3節,第4章4.1.3節,及び4.2.3節
    • 出版者
      東京大学出版会
  • [備考] 東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 米谷研究室ホームページ

    • URL

      http://www.nanome.t.u-tokyo.ac.jp/

  • [産業財産権] 光検出振動子、光波長計測装置、光波長計測方法、および光検出振動子の作製方法2013

    • 発明者名
      米谷玲皇,石原直,割澤伸一,劉琿,守屋和樹,山口浩司,岡本創
    • 権利者名
      東京大学,日本電信電話株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2013-171972
    • 出願年月日
      2013-08-22

URL: 

公開日: 2015-06-25  

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