アルゴンクラスターイオンビームによる高分子表面の化学結合選択スパッタリング

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23760037
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 盛谷 浩右 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20391279)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: ビーム応用 / 表面分析

研究概要

本研究では、一原子当たりエネルギー(Eatom)を制御した気体クラスターイオンを試料に照射し放出される二次イオン種の変化を解析した。スペクトル変化を多変量解析の手法を用いて解析した結果、試料に含まれる成分をメタクリル酸由来、アクリル酸由来、シランカップリング材によるものと同定できた。また、前年度に立ち上げを開始したX線光電子分光装置(XPS)の立ち上げを完了し、XPSスペクトルの測定を行った。

研究成果

• [雑誌論文] Highly sensitive analysis for surface contaminants by Ar gas cluster SIMS (2013)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Motohiro Tanaka, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 雑誌名: Surf. Interface Anal. 巻: Vol. 45 ページ: 143-146
  • URL: http://10.1002/sia.5008
• [雑誌論文] Secondary ion emission from insulin film bombarded with methane and noble gas cluster ion beams
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Masanori Kanai, Kosuke Goto, Issei Ihara, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 雑誌名: Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 巻: (in press)
• [学会発表] Soft-sputtering of insulin molecule using Ar, Kr and methane gas cluster ion beams (2013)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 学会等名: 第15回成蹊SIMS国際シンポジウム(SISS-15)
  • 発表場所: 成蹊大学(東京都武蔵野市)
  • 年月日: 20130425-26
• [学会発表] ArガスクラスターSIMSによる超高感度表面分析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 盛谷浩右, 乾徳夫, 持地広造
  • 学会等名: 兵庫県立大学 Cat-on-cat 新規表面反応研究センターシンポ ジウム 2012
  • 発表場所: 兵庫県立先端科学技術支援センター(兵庫県赤穂郡上郡町)
  • 年月日: 20121207-08
• [学会発表] ガスクラスターSIMSによる極浅表面分析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 盛谷浩右, 乾徳夫, 持地広造
  • 学会等名: 第53回真空に関する連合講演会
  • 発表場所: 甲南大学(兵庫県神戸市)
  • 年月日: 20121114-16
• [学会発表] Soft-sputtering of protein molecules using large cluster ion beams (2012)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Masanori Kanani, Kosuke Goto, Issei Ihara, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
  • 発表場所: 京都大学(京都府京都市)
  • 年月日: 20121021-25
• [学会発表] Soft-sputtering of protein molecules using various gas cluster ion beams (2012)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Masanori Kanai, Kosuke Goto, Issei Ihara, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 学会等名: 19th International Mass Spectrometry Conference
  • 発表場所: 京都国際会議場(京都府京都市)
  • 年月日: 20120915-21
• [学会発表] Soft-sputtering of protein molecules in argon cluster SIMS (2012)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani
  • 学会等名: 第14回成蹊SIMS 国際シンポジウム(SISS-14)
  • 発表場所: 成蹊大学(東京都武蔵野市)
  • 年月日: 20120531-0601
• [学会発表] Enhanced surface sensitivity in SIMS analysis using Ar gas cluster ion projectile (2011)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Noriaki. Toyoda, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 学会等名: 18th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 発表場所: リーバ・デル・ガルダ コンファレンスセンター(イタリア)
  • 年月日: 2011-09-23
• [学会発表] Surface sensitive analysis of organic thin films by Ar-gas cluster SIMS (2011)
  • 著者名/発表者名: Kousuke Moritani, Norio Inui, Kozo Mochiji
  • 学会等名: 第13回成蹊SIMS国際シンポジウム(SISS-13)
  • 発表場所: 成蹊大学(東京)
  • 年月日: 2011-06-24