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2013 年度 研究成果報告書

EBIC法と陽電子マイクロビーム法による半導体中欠陥の高度化解析システムの構築

研究課題

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研究課題/領域番号 23760039
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関独立行政法人日本原子力研究開発機構

研究代表者

前川 雅樹  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 先端基礎研究センター, 研究副主幹 (10354945)

研究期間 (年度) 2011 – 2013
キーワード陽電子マイクロビーム / 空孔型欠陥 / 空間分布 / EBIC測定 / 欠陥準位 / 再結合中心 / イオン照射
研究概要

本研究は、我々が開発した世界最高レベルの収束度を持つ陽電子マイクロビーム装置に、電子ビーム誘起電流(EBIC)測定回路を付加することで、半導体試料に存在する欠陥の評価を行うことを目的とした。まずEBIC測定系を構築し、欠陥コントラストを検出しながら同時に陽電子消滅法で消滅γ線を測定するシステムを構築した。マスキングを施すことで部分的にHe照射したSi試料の測定では、EBIC法・陽電子法ともに照射領域でコントラストが発現した。消滅γ線の精密測定から欠陥構造を推定したところHe原子が充填された複空孔であることが分かり、キャリア再結合中心が空孔型欠陥と関連があることが分かった。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文]2014

    • 著者名/発表者名
      M.Maekawa and A. Kawasuso
    • 雑誌名

      JAEA-Review

    • 査読あり
  • [雑誌論文]2013

    • 著者名/発表者名
      M.Maekawa and A. Kawasuso
    • 雑誌名

      JAEA-Review

      巻: 2013-059 ページ: 146

    • 査読あり
  • [雑誌論文]2013

    • 著者名/発表者名
      M.Maekawa and A. Kawasuso
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: vol. 443 ページ: 012041(1-4)

  • [雑誌論文]2012

    • 著者名/発表者名
      M.Maekawa and A. Kawasuso
    • 雑誌名

      JAEA-Review

      巻: 2012-046 ページ: 140

    • 査読あり
  • [学会発表]2013

    • 著者名/発表者名
      前川雅樹、河裾厚男
    • 学会等名
      第8回高崎量子応用研究シンポジウム
    • 発表場所
      高崎シティギャラリー(群馬)
    • 年月日
      20131000
  • [学会発表]2012

    • 著者名/発表者名
      前川雅樹、河裾厚男
    • 学会等名
      第7回高崎量子応用研究シンポジウム
    • 発表場所
      高崎シティギャラリー(群馬)
    • 年月日
      20121000
  • [学会発表]2012

    • 著者名/発表者名
      前川雅樹、河裾厚男
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      愛媛大学(愛媛)
    • 年月日
      20120900
  • [学会発表]2012

    • 著者名/発表者名
      M. Maekawa and A. Kawasuso
    • 学会等名
      16th International Conference of Positron Annihilation
    • 発表場所
      ブリストル大学(英国)
    • 年月日
      20120800
  • [学会発表]2011

    • 著者名/発表者名
      前川雅樹、河裾厚男
    • 学会等名
      第6回高崎量子応用研究シンポジウム
    • 発表場所
      高崎シティギャラリー(群馬)
    • 年月日
      20111000
  • [備考]

    • URL

      http://www.taka.jaea.go.jp/asrc/positron/index_j.html

URL: 

公開日: 2015-06-25  

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