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本研究の目的は、新規に提案する膜構造を持たせたMoとSiから成る多層膜がレーザープラズマ励起に基づくＸ線レーザー（XRL）光源（発振波長13.9 nm）に対して反射型の移相子（四分の一波長板（λ/4板））として機能すること、及びそれを用いてXRLの偏光状態を制御し、円偏光化できること実証することである。これを実現するために、（1）反射型多層膜移相子の設計・製作、（2）シンクロトロン放射光源（SR）による移相子の偏光特性評価、（3）反射型移相子による円偏光XRL生成の実証を行った。
（1）では、多層膜移相子の構成物質や構造等について理論的検討を行い、典型的な等周期Mo/Si多層膜鏡の表面近傍にあるMo厚を薄くすることで、反射型のλ/4板（sとp偏光間に位相差90度、反射強度比1）として機能することをシミュレーションにより見出した。この膜構造をイオンビームスパッタリング法により製作し、Ｘ線回折パターンから膜厚を評価した結果、設計通り（誤差±0.2%以下）に成膜出来ていることを確認した。また、偏光計測に必要な反射型偏光子（アナライザ）も同様の方法で作製・評価した。（2）では、波長13.9 nmのSRを用いて、回転検光子法に基づく偏光解析法により多層膜の偏光特性（s及びp偏光反射率、位相差等）を評価した結果、反射型のλ/4板として機能していることを実験的に明らかにした（s偏光反射率6.9%、p偏光反射率7.4%、位相差92.9°）。（3）では、XRLビームライン上に設置可能な偏光評価装置を新たに開発した。これに反射型移相子と反射型偏光子を搭載し、XLRを反射させた結果、円偏光度約70%のXRLの生成に成功した。
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